閥門箱（VMB）

Category: 特氣設(shè)備

產(chǎn)品用途：閥門分配箱(以下簡稱閥門箱，英文簡稱 VMB)是全封閉式的工藝氣體分配單元，用來二次調(diào)節(jié)工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機(jī)臺，根據(jù)需要有半自動控制和手動操作兩種操作方式。

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　　3.1 產(chǎn)品概述

　　產(chǎn)品用途：閥門分配箱(以下簡稱閥門箱，英文簡稱 VMB)是全封閉式的工藝氣體分配單元，用來二次調(diào)節(jié)工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機(jī)臺，根據(jù)需要有半自動控制和手動操作兩種操作方式。

　　產(chǎn)品功能和原理：閥門箱主要由工藝閥門盤面、PLC 控制系統(tǒng)(僅半自動控制系列)、機(jī)柜、安全附件四部分組成。工藝閥門盤面可以調(diào)節(jié)氣體的壓力和控制各支路氣體的通斷；半自動系列配有PLC控制系統(tǒng)，可以通過按鈕控制支路閥門開關(guān)；機(jī)柜為全密封設(shè)計，可以防止閥門箱內(nèi)的有害氣體擴(kuò)散到外部環(huán)境中，起到防護(hù)作用；根據(jù)輸送的氣體特性，設(shè)備內(nèi)部配置有火焰探測器、高溫傳感器等安全附件，當(dāng)設(shè)備內(nèi)出現(xiàn)異?；蚬收蠒r設(shè)備發(fā)出報警信號或自動停氣(僅半自助操作系列)，可以保證設(shè)備和環(huán)境的安全。

　　產(chǎn)品優(yōu)點：半自動系列以按鈕操作控制閥門的通斷，設(shè)備配置有遠(yuǎn)程監(jiān)控接口，通過與上位機(jī)連接，可以遠(yuǎn)程監(jiān)視和控制支路的通斷，吹掃和排氣動作需要手動操作；手動系列全部動作均為人工操作。

　　產(chǎn)品應(yīng)用：產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造，平板顯示行業(yè)，LED 行業(yè)，太陽能電池，電子元器件制造等行業(yè)，主要用于輸送有毒，易燃可燃，腐蝕性，氧化性高純氣體。

　　3.2 產(chǎn)品細(xì)分系列與配置

系列名稱	主要配置	適用工況	通用配置-半自動	通用配置-手動	通用參數(shù)
(半自動/手動)帶真空排氣,支路過濾系列	配置真空排氣支路,配置支路過濾器	適用于腐蝕性,毒性,自燃性氣體,前后端系統(tǒng)無過濾器的工況	按鈕+PLC控制; 遠(yuǎn)程監(jiān)控和緊急關(guān)斷; 三色報警燈; 自動控制支路開關(guān); 手動吹掃和真空排氣(根據(jù)具體配置); 配置主路擴(kuò)展閥;配置支路調(diào)壓閥。	全手動操作; 配置主路擴(kuò)展閥; 配置支路調(diào)壓閥。	電源:AC22V50HZ (僅半自動); 設(shè)備尺寸:視詳細(xì)型號確定; 閥門管件規(guī)格:尺寸規(guī)格視詳細(xì)型號確定,EP。
(半自動/手動)帶真空排氣,無支路過濾系列	配置真空排氣支路,無支路過濾器	適用于腐蝕性,毒性,自燃性氣體,前后端系統(tǒng)有濾器的工況
(半自動/手動)無真空排氣,帶支路過濾系列	無真空排氣支路,配置支路過濾器	適用于非毒性,腐蝕性,自燃性等非高危氣體, 前后端系統(tǒng)無過濾器的工況
(半自動/手動)無真空排氣,無支路過濾系列	無真空排氣支路,無支路過濾器	適用于非毒性,腐蝕性,自燃性等非高危氣體, 前后端系統(tǒng)有過濾器的工況