氣體輸送架（GR）

Category: 特氣設(shè)備

氣體輸送架(以下簡稱氣架，英文簡稱GR)是敞開式的工藝氣體氣源端的輸送設(shè)備，用來將鋼瓶中的高純惰性氣體輸送到后端的氣體分配單元，根據(jù)需要有半自動控制和手動操作兩種，半自動控制系列可以實現(xiàn)不間斷供氣。

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　　2.1 產(chǎn)品概述

　　產(chǎn)品用途：氣體輸送架(以下簡稱氣架，英文簡稱GR)是敞開式的工藝氣體氣源端的輸送設(shè)備，用來將鋼瓶中的高純惰性氣體輸送到后端的氣體分配單元，根據(jù)需要有半自動控制和手動操作兩種，半自動控制系列可以實現(xiàn)不間斷供氣。

　　產(chǎn)品功能和原理：氣架主要由工藝閥門盤面、PLC 控制系統(tǒng)(僅半自動控制系列)、機架三部分組成。根據(jù) 工況選用單瓶供應(yīng)或者雙瓶供應(yīng)，雙瓶供應(yīng)時，氣架內(nèi)安裝兩個供氣鋼瓶，一用一備。工藝閥門盤面中的閥門元件可以調(diào)節(jié)氣源的壓力和流量;半自動系列配有PLC 控制系統(tǒng)，可以監(jiān)控設(shè)備運行狀況和自動切換供氣鋼瓶，吹掃和排氣動作需要手動操作;手動系列全部動作均為人工操作，需要人工巡檢觀察鋼瓶剩余氣量和手動切換供氣鋼瓶。

　　優(yōu)點：半自助氣架以彩色觸摸屏為交互界面，操作方便，易于維護，設(shè)備頂部配有報警燈，便于巡檢人員觀察設(shè)備運行狀態(tài)。設(shè)備配置有遠程監(jiān)控接口，可以在廠務(wù)監(jiān)控平臺中顯示設(shè)備運行狀態(tài)，剩余氣量等關(guān)鍵參數(shù)，并且可以遠程關(guān)斷操作。

　　產(chǎn)品應(yīng)用：產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造，平板顯示行業(yè)，LED 行業(yè)，太陽能電池，電子元器件制造等行業(yè)，主要用于輸送惰性高純氣體。

　　2.2 產(chǎn)品細分系列與配置

　　2.2.1 雙瓶惰性氣體氣架(可選半自動操作或手動操作)

系列名稱	主要配置	適用工況	通用配置-半自動	通用配置-手動	通用參數(shù)
（半自動/手動）雙瓶- 獨立吹掃、高壓系列	配置獨立高壓保壓，吹掃功能的高壓氣架	適用于>600psi 的高壓對環(huán)境和人體有害的惰性氣體	觸摸屏+PLC 控制；遠程監(jiān)控和緊急關(guān)斷；三色報警燈；鋼瓶加熱，盤面管路加熱（根據(jù)氣體特性選擇配置）；鋼瓶電子秤（根據(jù)氣體特性擇配置）；自動切換；配置出口擴展閥；手動吹掃和排氣。	鋼瓶加熱，盤面管路加熱（根據(jù)氣體特性選擇配置）；鋼瓶電子秤（根據(jù)氣體特性選擇配置）；全手動操作；配置出口擴展閥；	電源：AC22V 50HZ（僅半自動）；設(shè)備尺寸：寬高厚 =7502050600（半自動）；設(shè)備尺寸：寬高厚 =7501755600（手動）；閥門管件規(guī)格：1/4”，EP
（半自動/手動雙瓶- 獨立吹掃系列	配置獨立吹掃功能，無高壓保壓的氣架	適用于人體無害，但不能直接排放于環(huán)境的氣體
（半自動/手動）雙瓶- 無吹掃系列	無獨立吹掃功能，無高壓保壓的氣架	適用于對環(huán)和人體完全無害的氣體，如 He 等