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產(chǎn)品中心


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  • TMAH2.jpg

TMAH2.38稀釋系統(tǒng)供應(yīng)柜


Category: 化學(xué)品設(shè)備

產(chǎn)品用途:適用于濕化學(xué)品介質(zhì)稀釋系統(tǒng)(TMAH2.38%),將原液25%原液稀釋混配至2.38%一號標(biāo)準(zhǔn)液;PP+PVC外殼+PFA管路;完整的系統(tǒng)解決方案;集成PLC和模塊化控制系統(tǒng);原液Supply單元+Mix混合單元+稀釋Supply單元。

  1.1 產(chǎn)品概述

  產(chǎn)品用途:適用于濕化學(xué)品介質(zhì)稀釋系統(tǒng)(TMAH2.38%),將原液25%原液稀釋混配至2.38%一號標(biāo)準(zhǔn)液;PP+PVC外殼+PFA管路;完整的系統(tǒng)解決方案;集成PLC和模塊化控制系統(tǒng);原液Supply單元+Mix混合單元+稀釋Supply單元。

  產(chǎn)品功能和原理:全自動供酸;可根據(jù)客戶需求提供額外配置;原液25%TMAH;左右桶自動切換;原液供應(yīng)泵體一用一備;根據(jù)桶內(nèi)液位高度實(shí)現(xiàn)自動切換供液操作;原液取樣,稀釋后取樣;管道壓力檢測稀釋罐一用一備,泵體兩用一備;稀釋后Preilter過濾供應(yīng),過濾精度0.05μm;簡潔系統(tǒng),并支持多種語言;觸屏可顯示各顆閥的工作狀態(tài)及管路供液狀態(tài)。

  優(yōu)點(diǎn):系統(tǒng)各部分運(yùn)行狀態(tài)的預(yù)警及警報;多重安全性的自檢與確認(rèn);自動切斷供液;供液壓力過高;緊急切斷;支持多種信號輸入;裝備緊急按鈕

  產(chǎn)品應(yīng)用:產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造,平板顯示行業(yè),LED 行業(yè),太陽能電池,電子元器件制造等行業(yè),主要用于稀釋輸送有毒,腐蝕性強(qiáng)的濕化學(xué)品。

關(guān)鍵詞:

介質(zhì)稀釋

模塊化

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