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全自動氣體輸送柜(以下簡稱全自動氣柜,英文簡稱 GC)是全封閉式的工藝氣體氣源端的輸送設備,用來將鋼瓶中的高純特氣輸送到后端的氣體分配單元,為全自動控制,并且能實現(xiàn)不間斷供氣。
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